原子层沉积系统采购公示
发布时间:2022-07-19   访问次数:168   作者:

项目名称:原子层沉积系统

采购单位:3044am永利集团欢迎您

采购方式:询价

成交单位:元于科技(北京)有限公司

成交价格:298000

购买数量:1

产品型号:YT-ALD150

评审日期:2022719

主要技术参数:

1. 主机

1.1  标准6 英寸原子层沉积系统

1.2  2路前驱体源,包括管路、高温ALD阀门、50ml 源瓶,2路均为加热源

1.3  沉积自动控制系统

1.4  沉积程序控制软件

1.5  预装Windows 的笔记本电脑

2.  选配前驱体源:包括管路、加热套、高温ALD 网门、50ml 源瓶(最高可配6路前驱体)

3. 真空机械泵系统:机械泵与相关管路

    真空机械泵型号:北仪优成TRP-6




公示时间:2022.7.20-2022.7.26,如有异议请拨打64253334向王伟老师反映